内置90L/s涡轮分子泵(Leybold)的高真空水平
双级旋转叶片前置泵(隔膜泵和涡旋泵)
80W开关直流电源
精度1nm、分辨率1Å的石英晶体厚度监控器
2"磁控管阴极
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