大电流直流电源(最大12V，100A)
170毫米直径硼硅酸盐-SST真空室
内置涡轮泵的高真空度(Leybold 90L/s)
双级旋转(可选隔膜或涡旋)前置泵
用于实时厚度测量的石英晶体监控系统(1 nm精度)
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