内置90L/s涡轮泵的高真空度(Leybold)
双级旋转叶片前置泵(隔膜泵或涡旋泵)
用于碳纤维沉积的500 W开关直流电源
用于碳棒沉积的1.2 kW大电流直流电源(可选)
精度为1nm、分辨率1Å的石英晶体厚度监控器
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